Beschreibung
Beschreibung: 1. Vakuumkammer
* Abmessungen innen ca 1600 mm Durchmesser, ca. 900 mm Höhe
* Zylindrische Kammer
* Edelstahl 1.4301
* Große Fronttüre
* 4 St. Öffnungen für großflächige Verdampferquellen
* 1 St. Schauglasöffnung mit Blende
* Diverse Flansche zur Instrumentierung
* Rotationsantrieb für Substratdrehwagen
* 2 Statz Bedampfungsbleche
* Farbe RAL 7016 Rahmen, RAL 7035 Verkleidung
2. Verdampfereinrichtungen
* 4 Stück großflächige Verdampfereinrichtungen ca. 152 x 635 mm
* 4 Stück Metallargets 152 x 635 x 18 mm
* 4 Stück Zündeinrichtungen
3. Verdampferversorgungen
* 4 Stück Verdampferversorgungen, max. 200 A bei 100% ED
4. Glimmspannungsversorgung
* 1 Stück HF – Glimmspannungsversorgung
5. Pumpsystem
* 2 St. Mechanische Vorpumpe ca. 250 m³/h
* 2 St. Rootspumpe ca. 2000 m³/h
* 1 St. Öldiffusionspumpe NW 630
* Chevron Baffle NW 630 mit integrierter Meissnerfalle
* Cryocooler PFC 550 zur Bafflekühlung im geschlossenen Kreislauf.
* Hochvakuumeckventil NW 630
* 3 Stück Eckventile NW160
* Verrohrung
6. Druckmessung
* 2 Stück Pirani
* 1 Stück Kaltkathodenmeßröhre
* 1 Stück Kombinationsdruckmessgerät
* 1 Stück Kapazitätsmanometer zur Prozessdruckmessung
7. Gasversorgung
* 1 St. Massflowmeter
* Shutoff-Ventil separat angesteuert
* Prozessdruckregler
8. Substratdrehvorrichtung
* 1 St. Wagen ca. 1200 mm Durchmesser, Zweifachrotation mit 4
Positionen zur Beschichtung von 4 St. Felgen bis 7,5“x17“
* 1 St. Wagen ca. 1200 mm Durchmesser, Zweifachrotation mit 3
Positionen zur Beschichtung von 3 St. Felgen über 7“x17“
* 1 Stück Transportwagen
9. Steuerschrank
* 1 Stück 19“ Steuerschrank, höhe ca. 1800 mm, zur Aufnahme des
Rechnersystems nebst Messgeräten
10. Automatischer Beschichtungsprozess einschließlich Hardware
* Rechnersystem basierend auf Pentium Prozessor, integriert in
Kontrolldesk
* 2,1 GP Festplatte, CD-ROM Laufwerk
* 17“ Colormonitor, VGA Graphik
* Keyboard
* Software zur Durchführung des automatischen Beschichtungsprozesses
einschließlich Datenerfassung und – Speicherung
11. Elektroversorgung
* Elektroverteilung
* Aufnahme der Systemsteuerung
* Kühleinrichtung
12. Kontrolleinrichtung
* Allen Bradley SPS
* Allen Bradley SPS Software
Typ: PVT 1600 SLC 1
Hersteller: PVT GmbH
Baujahr: 1998
Dokumentation: ja
Besichtigung: ja
Lagerort: Kunde
Status: gebraucht / used / second hand
Stromstärke: 200 A (max)
Steuerung: Allen Bradley SPS
-: (Automatischer Beschichtungsprozess einschließlich Hardware)
Chemische Verfahren
